这个，也给没有EUV光刻机，也想做14纳米一下芯片的制造商，提出了新思路

来源: 又到了秋天 于 2023-05-26 12:57:11 [] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读： 次 (0 bytes)

所有跟帖： 

• 不是说长春一个单位做出来了？ -得瑟一下- ♂ 给 得瑟一下 发送悄悄话 (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:00:53

• 长春光机所做出了EUV光源的样机，不是整套光刻设备 -又到了秋天- ♂ 给 又到了秋天 发送悄悄话 (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:02:35

• 是所有规范的设计工艺都需要做correction,是行业标准；14nm DUV就可以做； -胡雪盐8- ♂ 给 胡雪盐8 发送悄悄话 (53 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:46:36

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