长春光机所做出了EUV光源的样机，不是整套光刻设备

来源: 又到了秋天 于 2023-05-26 13:02:35 [] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读： 次 (0 bytes)
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回答: 不是说长春一个单位做出来了？ 由 得瑟一下 于 2023-05-26 13:00:53

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