长春光机所做出了EUV光源的样机，不是整套光刻设备

来源: 又到了秋天 于 2023-05-26 13:02:35 [] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (0 bytes)
本帖于 2023-05-26 13:03:12 时间, 由普通用户 又到了秋天 编辑
回答: 不是说长春一个单位做出来了？ 由 得瑟一下 于 2023-05-26 13:00:53
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