科普一下，NVidia的计算光刻，听说过吗？

现在光刻机成了一个热门话题。

其实光刻机的原理很简单，就是俺们没有计算机那个年代的胶片投影仪，相信好多人都用过

就是把一张写了字的塑料片放在灯光下，镜头就把文字，图画投影到大屏幕上。

光刻机就是把设计好的图案，投影到硅片上。但是因为镜头的原因，图案会发生变形，随着线条越来越细，变形就越来越严重。为了让投影到硅片上的最后印象是一个“十”字，原始的图案需要设计得越来越复杂

NVidia就用GPU的加速芯片，设计了一套数学模型库，你把最终需要的图像告诉计算机

，计算机就帮你设计原始图案。这样的数学模型，用没有图像加速器的计算计算，需要几周。有了图像加速器，只需要几个小时。

 

猜猜这张原始的图案，考虑到镜头的变形，投射到硅片上之后，最终的图像是啥？

 

答案是，硅片上会刻出这个：

所有跟帖： 

• 这个是光刻mask的预先correction, 我搞的时候还是0.5微米，原理一样 -胡雪盐8- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 12:56:51

• 简单解释就是“美颜” -胡雪盐8- ♂ (167 bytes) () 05/26/2023 postreply 12:57:31

• 就是先测量出镜头畸变的模型，然后根据最终的成像要求，反推原始图案 -又到了秋天- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 12:58:27

• 这个不难，每家的工艺，有最近的过程 -胡雪盐8- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 12:59:32

• 数学上不难，就是需要大量的计算，GPU就显示出威力了 -又到了秋天- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:00:35

• 不是实时的，不一定要求速度高，可能处理长一些；AI是实时的 -胡雪盐8- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:03:36

• 不需要实时，但是用不用GPU是几周和几个小时的差别 -又到了秋天- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:08:37

• 我上面说的是，设计效率问题；没有最新的GPU也能搞；不是showstop，mask只需要校准一次 -胡雪盐8- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:16:30

• 这个，也给没有EUV光刻机，也想做14纳米一下芯片的制造商，提出了新思路 -又到了秋天- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 12:57:11

• 不是说长春一个单位做出来了？ -得瑟一下- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:00:53

• 长春光机所做出了EUV光源的样机，不是整套光刻设备 -又到了秋天- ♂ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:02:35

• 是所有规范的设计工艺都需要做correction,是行业标准；14nm DUV就可以做； -胡雪盐8- ♂ (53 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:46:36

• 学习了 -古安- ♀ (0 bytes) () 05/26/2023 postreply 13:00:15