DUV做不了5纳米，因为它的波长193纳米，一次曝光最好只能做20纳米以上。靠多次曝光做到5纳米合格率5%以下。

来源: Iknowno 于 2025-10-14 18:53:19 [] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (0 bytes)

所有跟帖： 

• double patterning 是好多年前的事情了 -赤脚行医无界- ♂ 给 赤脚行医无界 发送悄悄话 (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:58:48

请您先登陆，再发跟帖！