5nm DUV 光刻机发布。ASML需要颤抖吗？

所有跟帖： 

• DUV做不了5纳米，因为它的波长193纳米，一次曝光最好只能做20纳米以上。靠多次曝光做到5纳米合格率5%以下。 -Iknowno- ♂ (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:53:19

• double patterning 是好多年前的事情了 -赤脚行医无界- ♂ (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:58:48

• 肯定要抖 导致asml 分辨率 出问题 -赤脚行医无界- ♂ (0 bytes) () 10/14/2025 postreply 18:54:00