比如DUV只能做到20纳米。那么,在同一个芯片上烧两次,位置错开一半,那就可以做到10纳米了。这就是DUV拷贝的意思。

回答: 谢谢回帖.虽然我不懂你说的:)江上一郎2023-09-07 08:30:50
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