比如DUV只能做到20纳米。那么，在同一个芯片上烧两次，位置错开一半，那就可以做到10纳米了。这就是DUV拷贝的意思。

来源: 于 2023-09-07 08:47:59 [博客] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次