重剑无锋，大巧不工的清华EUV光刻机方案

来源: 半城雨 于 2023-09-13 20:43:24 [] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (108 bytes)

提出的人居然不是光刻机业内的，进一步证明捅透窗户纸的手段不止一种。

所有跟帖： 

• "对QinHua老师佩服的五体投地“ -zhoufang- ♂ 给 zhoufang 发送悄悄话 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:45:19

• 同时解决EUV光源小型化和光源能量限制 -半城雨- ♂ 给 半城雨 发送悄悄话 (0 bytes) () 09/13/2023 postreply 20:46:42

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