SMEE计划2021年交付首台国产的28nm的immersion光刻机

来源: 南山阳 于 2020-05-17 16:20:12 [] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (384 bytes)
SMEE（上海微电子）计划2021年交付首台国产的28nm的immersion光刻机，和世界上最先进的ASML公司仍然具有20年左右的差距（20年后可能和ASML水平持平）。虽然有差距，但是我们几百人的研发队伍一直在努力。公司大楼的倒计时时钟也一直在滴滴作响。


 

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• 20年前可没有28nm技术，2009年40纳米刚量产，28纳米开发中 -wjhwsh- ♀ 给 wjhwsh 发送悄悄话 wjhwsh 的博客首页 (0 bytes) () 05/17/2020 postreply 22:07:42

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