SMEE计划2021年交付首台国产的28nm的immersion光刻机

来源: 2020-05-17 16:20:12 [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读:
SMEE(上海微电子)计划2021年交付首台国产的28nm的immersion光刻机,和世界上最先进的ASML公司仍然具有20年左右的差距(20年后可能和ASML水平持平)。虽然有差距,但是我们几百人的研发队伍一直在努力。公司大楼的倒计时时钟也一直在滴滴作响。