还好DUV不是最先进的。比DUV先进的有EUV及发展中的High-NA EUV。
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EUV的困难在光源。 原理也很简单,但工业实现非常困难。 不过估计两三年后中国就可以拿下EUV光源,
-大洋bridge-
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10/24/2025 postreply
22:40:18