EUV的困难在光源。 原理也很简单，但工业实现非常困难。 不过估计两三年后中国就可以拿下EUV光源，

来源: 大洋bridge 于 2025-10-24 22:40:18 [] [博客] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (0 bytes)
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