杭州日报报道，中國首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試，精度達0.6奈米、線寬8奈米，精度可比肩國際主流設備

https://www.worldjournal.com/wj/story/121339/8941702

 

所有跟帖： 

• 这种新闻，和以前的压印技术一样，不见得能投入量产，只是显示中国在尝试多种可能的路径，不单单是局限在EUV一条路径上。 -thore- ♂ (0 bytes) () 08/15/2025 postreply 21:12:57

• 这是EUV光刻机的一个配套部分，是用来刻EUV掩膜母板的 -碰碰胡- ♂ (0 bytes) () 08/16/2025 postreply 08:23:08