这种新闻,和以前的压印技术一样,不见得能投入量产,只是显示中国在尝试多种可能的路径,不单单是局限在EUV一条路径上。
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这是EUV光刻机的一个配套部分,是用来刻EUV掩膜母板的
-碰碰胡-
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08/16/2025 postreply
08:23:08