杭州日报报道，中國首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試，精度達0.6奈米、線寬8奈米，精度可比肩國際主流設備

来源: 于 2025-08-15 21:10:19 [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次