早在2016年台积电已经实现了通过多次曝光光刻利用DUV 生产7纳米，随着EUV到货，很快就淘汰多次曝光光刻

来源: amico 于 2024-02-07 11:56:08 [] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (0 bytes)
本帖于 2024-02-07 11:57:00 时间, 由普通用户 amico 编辑
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