不仅仅是成本,良品率,商业产能及制作工艺也会大幅降低。更不要去追赶3纳米,2纳米的高端芯片, 遥不可及
本帖于 2024-02-07 11:48:34 时间, 由普通用户 amico 编辑
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早在2016年台积电已经实现了通过多次曝光光刻利用DUV 生产7纳米,随着EUV到货,很快就淘汰多次曝光光刻
-amico-
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02/07/2024 postreply
11:56:08