现在没有更详细信息。不知道上海微电子研制成功的是分辨率达到28纳米的光刻机，还是多重曝光最高能够制造28纳米芯片的光刻机

来源: thore 于 2023-12-20 15:34:58 [] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (0 bytes)
请您先登陆，再发跟帖！