据说2021年上海微电子就研制出28纳米光刻机,但良率达不到芯片厂盈利的要求(90%)。现在公开,可能良率过关,开始量产
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现在没有更详细信息。不知道上海微电子研制成功的是分辨率达到28纳米的光刻机,还是多重曝光最高能够制造28纳米芯片的光刻机
-thore-
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12/20/2023 postreply
15:34:58