上海張江有限公司12月19日发文称，上海微电子成功研制出28纳米光刻机

https://www.youtube.com/watch?v=VoyI9rN4840

 

所有跟帖： 

• 据说2021年上海微电子就研制出28纳米光刻机，但良率达不到芯片厂盈利的要求（90%）。现在公开，可能良率过关，开始量产 -thore- ♂ (0 bytes) () 12/20/2023 postreply 15:32:39

• 现在没有更详细信息。不知道上海微电子研制成功的是分辨率达到28纳米的光刻机，还是多重曝光最高能够制造28纳米芯片的光刻机 -thore- ♂ (0 bytes) () 12/20/2023 postreply 15:34:58

• 很快就撤掉了。 -cn_abcd- ♂ (0 bytes) () 12/20/2023 postreply 17:27:33