现在没有更详细信息。不知道上海微电子研制成功的是分辨率达到28纳米的光刻机，还是多重曝光最高能够制造28纳米芯片的光刻机

来源: thore 于 2023-12-20 15:34:58 [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次

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