EUV（极紫外）光刻系统使用反射镜而不是透镜，因为所有已知的透射材料，包括空气和玻璃，都会强烈吸收极紫外光

所有跟帖： 

• 反射镜使极紫外损失一半，而使用透镜会导致光线在聚焦到硅晶片上之前几乎完全被吸收。 -半垧- ♂ (0 bytes) () 01/03/2026 postreply 15:24:38

• 薄膜光学里说金属氧化物薄膜可以增加透射能力，不知道是哪个波段的。 -明白仁儿- ♂ (0 bytes) () 01/03/2026 postreply 17:03:24

• 可能增透膜对于太短的波长无效？甚至有害？ -gweipwu- ♂ (0 bytes) () 01/03/2026 postreply 17:55:25

• 可能还没找到哪种金属氧化物适合EUV那个波段。 -明白仁儿- ♂ (0 bytes) () 01/03/2026 postreply 19:14:21

• 当人类进入纳米时代，眼看着很多革命性的东西出现了。 -gweipwu- ♂ (0 bytes) () 01/03/2026 postreply 21:14:44

• 纳米时代的制造应该反过来还会推动量子力学的发展和完善！哈哈当年李扬赶上量子力学的末班车，现在中国人又赶上了纳米时代的制造 -gweipwu- ♂ (257 bytes) () 01/05/2026 postreply 08:36:21