EUV（极紫外）光刻系统使用反射镜而不是透镜，因为所有已知的透射材料，包括空气和玻璃，都会强烈吸收极紫外光

来源: 半垧于 2026-01-03 15:23:43 [博客] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次

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