把现有的DUV 改造一下,用EUV置换DUV光源及相关器件, 成为低阶EUV 光刻机也是有可能的。
华为的芯片可能是自己生产的。他们有自己的EUV 的专利。
本帖于 2023-09-29 08:12:53 时间, 由普通用户 94327956 编辑
把现有的DUV 改造一下,用EUV置换DUV光源及相关器件, 成为低阶EUV 光刻机也是有可能的。
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