华为的芯片可能是自己生产的。他们有自己的EUV 的专利。

来源: 于 2023-09-29 08:10:32 [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次

把现有的DUV 改造一下，用EUV置换DUV光源及相关器件， 成为低阶EUV 光刻机也是有可能的。