基本没戏。EUV是DUV往上的区域，选哪一个波段，光源纯吗？有没有滤光镜？是不是国产的？玻璃不行，石英？有没有聚焦镜片？

所有跟帖： 

• 老金又变光科机专家了，学习能力赶上AI了。LOL -为人父- ♂ (0 bytes) () 09/16/2023 postreply 11:19:26

• 丫为了心中的执念也是拼了，这么大年纪还在学习前沿‘黑’科技，坛友们敬仰不已啊。 -dakinglaile- ♂ (0 bytes) () 09/16/2023 postreply 11:25:30