基本没戏。EUV是DUV往上的区域，选哪一个波段，光源纯吗？有没有滤光镜？是不是国产的？玻璃不行，石英？有没有聚焦镜片？

来源: 于 2023-09-16 10:07:04 [博客] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次