2024年中国将成功制造出纯国产的EUV级光刻机整机，2026年之前将彻底落地商业化规模生产。

https://redian.news/wxnews/371554

2024年中国将成功制造出纯国产的EUV级光刻机整机，2026年之前将彻底落地商业化规模生产，如果各企业及监管部门通力协作加班加点，这个时间还可以提前。

中国原计划是2030年之前突破EUV光刻机，按目前的进度看绝对可以大大提前，将至少提前4年，甚至5年

所有跟帖： 

• 这样说太早 -cn_abcd- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 12:19:50

• 关键节点突破了，剩下的就是整合在一起，然后就是成熟技术 -悠游感叹- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 12:32:20

• 有没有EUV的性能指标？ASML的EUV是由激光连续打金属液滴产生的， -大洋bridge- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 14:38:33

• 当年北斗GPS缺高精度原子钟，西方禁售，不得已中国也是自己搞出来了 -大洋bridge- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 12:29:17

• 还有C919 -thundersong- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 13:17:48

• 举例正确！ -大洋bridge- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 13:26:51

• 激光器如果自产，荷兰公司可以卖中国除激光器外的整机。目前似只有激光器是美制的。 -前后左右- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 13:37:22

• 新一代光源也用德国制造。 美国光源也是在ASML指导帮助下搞出来的，和蔡司独特技术能力不一样， -大洋bridge- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 13:51:02

• EUV应该不是激光 -周老大- ♂ (0 bytes) () 04/28/2023 postreply 18:12:06