2024年中国将成功制造出纯国产的EUV级光刻机整机，2026年之前将彻底落地商业化规模生产。

来源: 于 2023-04-28 12:13:27 [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次

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2024年中国将成功制造出纯国产的EUV级光刻机整机，2026年之前将彻底落地商业化规模生产，如果各企业及监管部门通力协作加班加点，这个时间还可以提前。
中国原计划是2030年之前突破EUV光刻机，按目前的进度看绝对可以大大提前，将至少提前4年，甚至5年