光刻机刻出化学模板,利用模板再用化学方法腐蚀掉二氧化硅(或者硅)然后镀铜等。
所有跟帖:
• 你说的那个用激光画圈圈,不用化学刻蚀除去二氧化硅,怎么形成电路图?以为是放幻灯片哪? -遍野无尘- ♀ (0 bytes) () 11/30/2018 postreply 11:16:57
• 哈哈,已经讲的这么清楚了,这个工程实现的方式,竟然还有人想不通怎么搞! -michaelg- ♂ (0 bytes) () 11/30/2018 postreply 11:22:26
• 做7nm逻辑芯片,原理都很清楚,还就工程实现问题,现在也就是TSMC和三星能做,别人还就做并不出。 -inosine- ♂ (0 bytes) () 11/30/2018 postreply 11:43:36