光刻机刻出化学模板,利用模板再用化学方法腐蚀掉二氧化硅(或者硅)然后镀铜等。
来源:
遍野无尘
于
2018-11-30 11:15:08
[
博客
] [
旧帖
] [
给我悄悄话
] 本文已被阅读:次