有人认为中国的EUV 制造是谎言，是中国人自己吹牛。可是这些报道并不始源于中国，

是路透社的系列报道，透露消息的人隐名，曾经有报道暗示信息人是参加这个被称为中国曼哈顿计划荷兰前ASLM人员。而中国在查内鬼。路透社也会误报，但是要有证据说他是误报。