从来没听说过这个单位
来源:
碰碰胡
于
2025-03-07 17:50:08
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极端光学技术与仪器全国重点实验室
查了一下
原来在浙江大学
不是光刻机本身,是光刻机的一个部件,反射物镜的安装和调试用的