生产EUV光源的小公司很多，Martinez就有一家。一定要在光源上另辟蹊径，否则真是死路一条。

所有跟帖： 

• 是的，谁做出波长最短，稳定可靠，功率足够，谁就挣大钱，可能都会为此得诺奖？ -gweipwu- ♂ (0 bytes) () 01/03/2026 postreply 17:38:40

• 请看：“清华大学在光刻机光源领域的研发目前集中在稳态微聚束（SSMB）极紫外（EUV）光源技术，。。。 -gweipwu- ♂ (0 bytes) () 01/03/2026 postreply 18:05:30