生产EUV光源的小公司很多,Martinez就有一家。一定要在光源上另辟蹊径,否则真是死路一条。
所有跟帖:
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是的,谁做出波长最短,稳定可靠,功率足够,谁就挣大钱,可能都会为此得诺奖?
-gweipwu-
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01/03/2026 postreply
17:38:40
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请看:“清华大学在光刻机光源领域的研发目前集中在稳态微聚束(SSMB)极紫外(EUV)光源技术,。。。
-gweipwu-
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01/03/2026 postreply
18:05:30