中国的第一台光刻机是1965年，搜索一下就能查到

来源: 于 2022-11-05 05:40:39 [博客] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次

1961年，美国GCA公司制造出了第一台接触式光刻机。 而一个广为流传的说法是，1966年，中科院下属109厂就与上海光学仪器厂协作，研制成功了我国第一台65型接触式光刻机