中国的光刻机研制始于70年代，80年代初是在研项目最多的时候，后来一直电子部和科学院一直在做，电子部的队伍最后并入上海微电

来源: 于 2021-07-08 08:42:06 [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读：次