1972年大陆就研制出光刻机，1980年代被迫下马。

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• 中国的光刻机研制始于70年代，80年代初是在研项目最多的时候，后来一直电子部和科学院一直在做，电子部的队伍最后并入上海微电 -nnndayd- ♂ (0 bytes) () 07/08/2021 postreply 08:42:06