”10纳米芯片的实际制程(最小金属间距)大约在40纳米左右;5纳米芯片的最小金属间距大约为30纳米;3纳米芯片的则大约为22纳米。“
有一篇很著名的物理学论文,从固体物理学和信息论角度得出硅基芯片的制程不可能小于14纳米。