一个在纽约哥大拿了PhD的中国人, 在回中国20多年后, 抄作业山寨了美国人在40-50年代发明的技术, 就被不少赢学家誉为稀土溶剂萃取分离技术的所谓发明人, 呵呵,这个话题上次我已经说过了, 这里就不赘述了。
于是赢学家们又转而吹嘘中国产稀土原料的所谓高纯度, 什么5N/7N(99.999%-99.99999%, N前数字代表几个9)纯度都吹出来了, 上次我就说了, 这帮赢学家是不是把稀土最主要的应用磁体(或磁铁)与半导体材料镓(不是稀土)的应用混为一谈? 这次就特别谈谈这个话题。
半导体应用的确需要高纯度, 但稀土最大的应用, 磁体级别应用2N5 (99.5%) 就足够了, 个别最多到3N5(99.95%), 这也是溶剂萃取分离法的极限了, 再要提纯就要用别的方法,如果在半导体行业就要进无尘室了, 穿无尘防护服了。 稀土磁铁级别应用, 最多也就穿个白大褂而已, 而且磁体稀土原料本身就有混合的, 比如NdPr(钕镨)氧化物。 就是Nd氧化物和Pr氧化物2种化合物的混合,号称75/25比例。 实际上按矿山来源不同比例是不同的, 但对于稀土磁体级别应用没有啥区别。
赢学家搞混的高纯度镓, 实际上也不是中国自己做出来的, 第2代半导体材料高纯度镓(7N)及砷化镓衬底晶片(提醒一句, 镓不是稀土金属), 美国公司AXT在本世纪初就把工厂转移到中国, 它在中国的公司叫做通美晶体, 3年前我在写“漫谈锗和镓:对日尔曼蛮子和高卢公鸡的炒作” 就专门提到这家加州公司和中国子公司通美晶体,其技术负责人还说他的公司是该行业在中国的黄埔军校,也是, 只要工厂开在中国, 技术扩散就不可避免。 那时我也注意到它家还生产磷化铟衬底, 还看了看它家股票, 2块多美刀, 后来就没管它了, 没想到磷化铟居然与“AI光互连”有极大关联, 从去年年底开始AXT飙升, 现在股价已经140了, 唉,我 missed 一匹黑马!
在几年前, 我想起来的稀土在半导体行业的唯一应用是Ce(铈), 氧化铈抛光剂, 应用于晶圆的化学机械抛光(CMP), 7nm以下制程需要5N及以上, 28nm 以上用4N级别, 这个稀土抛光剂需要专门生产,主要供应商有日本 Resonac,美国Entegris 和上海安集, 这个上海Anji开始是由外资投资的华人海归创办的, 技术来源是美国。
中国在这方面卡不了西方的脖子, Ce(铈)这玩意太大路货了,工业级 1-2个美元一公斤, 可以说稀土系列17兄弟, 生来就不平等, Ce就是最贱的, La(镧)其次, 在中国,这俩轻稀土难兄难弟的产量过剩,特别是Ce的产量严重过剩, 要到处找应用。中国之外, 澳洲Lynas的马来西亚厂,其NdPr氧化物去年产量是8千吨, 就要产出3倍的Ce/La氧化物或碳酸化合物(约2.4万吨), 至于美国的MP, 比例就更大, MP去年NdPr氧化物产量是2.6千吨,副产 4倍的Ce/La氧化物或碳酸化合物 (约1万吨了)。
最近几年, 随着半导体先进制程的进化和AI大热, 稀土在半导体行业的应用多了起来, 比如先进制程控制(High-k 栅极介质与掺杂), 3纳米及以下先进制程(如 GAA 环绕栅极架构)中,晶体管极易漏电。通过使用原子层沉积(ALD)技术,将高纯度氧化镧(La)作为 High-k(高介电常数)电介质薄膜精准沉积在栅极上,能够以原子级厚度彻底阻断电子隧穿,实现超低功耗和精准的阈值电压控制。
还有, 最近大热的AI 数据中心内部的高速光通信, 稀土有2个应用, 一个是光放大器(EDFA),重稀土铒(Er)掺杂的光纤放大器是全球海底光缆和骨干网的核心,它可以直接在光路中信号进行无损放大。第2个应用是硅基光子集成,在最新一代的 AI 光子芯片设计中,镱(Yb)和铒(Er)被作为活性增益介质掺杂到硅基晶圆上,用以制造高效率的微型激光器。
所有这些最新应用中, 都需要5N/6N及以上稀土 (La, Er, Yb等), 目前这类高纯度稀土和合成可直接用于光刻和沉积设备的“高纯有机前驱体化学品”技术,依然高度由德国默克、法国液化空气、日本艾迪科(ADEKA)等西方材料巨头所垄断。当然中国也有企业在追赶。
所谓中国液相萃取法稀土分离纯度到5N及以上的, 全都是赢学家们义和团式的牛皮!当然,应用在半导体上的稀土, 除了Ce/La这两轻稀土, 其它重稀土Er/Yb的原料来源目前还是由中国控制, 但也控制不了多久了,澳洲的Lynas和美国MP, 我个人估计1-2年全部可以生产。这方面是可以相互卡脖子, 原材料中国可以卡西方,高纯度合成化学品西方也可以卡中国, 双方目前都在补自己的短板。