转发：LDP 和 LPP：技术优劣对比

. 效率与能耗

 

LPP的问题：ASML 的 LPP 需要使用高达 20 千瓦的二氧化碳激光器，但只有 5% 的激光能量能转换成 EUV 光，剩下的能量都变成了热量，需要复杂的冷却系统来管理。

 

LDP 的优点：激光只是用来触发放电过程，大部分能量是由电场提供的，整体转换效率提高了 2 到 3 倍，系统能耗降低了 30% 以上。

 

2. 光源稳定性和寿命

 

LPP 使用液态锡靶材容易产生碎片污染，需要频繁维护；而 LDP 使用气态或固态靶材（例如氙气），减少了碎片生成，延长了光源寿命，减少了停机时间。

 

3. 技术成熟度

 

ASML 的 LPP 已经经过 20 年的发展和改进，实现了 250 瓦以上的稳定输出，能满足晶圆厂每小时生产上百片晶圆的需求。我国的 LDP 目前还在从实验室走向工业化的过程中，公开数据显示其功率约为 100 瓦，离达到量产标准还有一定差距，不过研发进展很快。