2023年就有消息，中国的EUV光刻机在各项关键技术上取得突破。现在应该是样机和配套的技术研制成功，中芯国际要试生产了。

来源: thore 于 2024-03-12 21:44:11 [] [旧帖] [给我悄悄话] 阅读数 : (0 bytes)

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• 牛 -年轮- ♂ 给 年轮 发送悄悄话 (0 bytes) () 03/12/2024 postreply 21:46:59

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