中试线指在正式量产之前的中等规模生产线，兼具改进观察的试验作用。通过验证后就可以正式建设生产线量产了！
实际上早在2018年5月24日，国产极紫外光刻胶（EUV光刻胶）已经通过项目验收。
《电子产品世界》发布的新闻截图
根据“中国发展门户网”发布的报道，这种光刻胶是靠上海光源来测试验证的。
“中国发展门户网”发布的报道截图
当然，光刻胶通过验收只能说明这种光刻胶能用，至于是否好用，那就需要上EUV设备实际测试验证才行，根据测试结果，不断调整EUV光刻胶配方参数，直到曝光良率达到很高的水平，才能商用。否则一旦良率不高，就会给生产线造成巨大损失。
至于EUV光刻胶单体是什么东西呢？
光刻胶主要由成膜树脂、增感剂、活性单体、溶剂和助剂组成。EUV光刻胶单体其实就是用于极紫外光照射时产生光敏反应的一种化学成分，是光刻胶核心成分，也是成本占比超60%的最重要成分。
由于国产EUV光刻胶早已通过验收，因此我国早已具备EUV光刻胶研制能力。但从验收到量产，还需要进行中试，这就需要实际上机测试。只能等国产EUV设备通过验收才行。
光刻胶研发分为五个阶段， TDS（实验室试样）、PRS（基础工艺考核）、STR（小批量试产）、MSTR（中试）、RELEASE（量产）。
如果国产EUV光刻胶单体能够通过中试，那就可以量产了。而最重要的单体量产以后，就意味着EUV光刻胶很快就能量产，这个过程需要EUV设备不断进行产线测试。
早在8月7日，瑞联新材披露投资者就曾披露， EUV 光刻胶已经通过客户小试验证，正在做量产验证，国内客户更多的是处于合作研发或送样阶段。这其中提到送样阶段，那就说明国内已有EUV工程样机来测试。
为什么不能用EUV光源工程样机来测试呢？因为EUV光源发出的光并不纯，需要经过物镜多次反射才能纯化成EUV光。因此EUV光源工程样机根本无法用于追求量产的EUV光刻胶小批量测试和中试。
《南方都市报》报道截图
考虑到2023年度吉林省科学技术奖提名项目就包括了“EUV 整体技术突破”、“EUV 物镜相关技术”以及“超高精度光刻机投影物镜系统波像差检测技术”等技术，说明EUV工程样机所需的三大关键零部件均已经造出来。
