光源不是最大问题,问题是成像光学
这是不计成本的, 再说
所有跟帖:
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这个成本会比光刻机低
-StewartPlatform-
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09/13/2023 postreply
18:58:58
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光刻机贵的不是光源,贵的是光学成像系统!
-无声渡-
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09/13/2023 postreply
19:15:02