03年ASML推出45纳米浸没式光刻机。20年逐代提升到28、14、10、7、5纳米。一台研究所的28纳米样到7纳米工业

一台研究所的28纳米样机到7纳米工业能力,要多长时间?注意:是在没有任何协作方的条件下。

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