为什么国内的晶圆厂,用ASML的光刻机,但不愿意用国产?
前段时间,有机构发布了一个数据,那就是全球前道光刻机的销售情况表。
数据显示,目前在前道光刻机上,国产光刻机的份额为0,全部被荷兰的ASML、日本的尼康、佳能垄断着。
先进工艺的就不说了,国产无法替代,但哪怕是国产光刻机覆盖到的180nm以上的光刻机,大家都用的是ASML、尼康、佳能的,而不是国产的上海微电子的。
而有业内人士有示,目前国内的晶圆厂,在光刻机上,只要有ASML的可买,就一般不会用国产光刻机,国产光刻机哪怕是不要钱,送到晶圆厂的,大家都爱用不爱,测试用的国产光刻机,用得非常少,都是在吃灰。
那么问题就来了,为何晶圆们不愿意用国产光刻机,更愿意用ASML等厂商的国外货,是崇洋媚外么?
还真不是崇洋媚外在作祟,背后其实还是生态的问题。
我们知道芯片制造,是非常复杂的,需要几十上百种设备,上百道工序,这些过程,由各种设备来协同工作。
这些设备之间,需要非常紧密的配合,而ASML的光刻机,与各种各样的设备,早就形成了兼容以及协同,大家配合无间。
一旦光刻机换了,能不能与这一大批的国外设备兼容,且达到紧密的协同还真不好说。
同时,光刻机的精度,其实是一个宽度适应的,比如ArFi光刻机,可以用于7-45nm,而ArF干式光刻机,可用于65-180nm。
ASML或尼康的光刻机,可以进行精度比较广的适应,但是国产光刻机,技术相对较为落后,无法适应这么宽的精度,甚至只能专机专用,让晶圆厂 也是左右为难,需要重复投资,原本一台ASML的光刻机搞定了,最后买了国产光刻机,还需要ASML的,投资浪费了。
还有,使用国产光刻机,让晶圆厂对良率也产生了怀疑,良率就是晶圆厂的生命,决定了成本、效率等等。
所以大家一般情况下,更愿意用成熟的,自己熟悉的产品,这样保证自己的收入、成本、效率等,不愿意冒险使用国产光刻机。
当然,目前在国产化的趋势之下,国产光刻机也迎来了机会,但是如果在生态、与其它设备的兼容、工艺上进行提升,国产光刻机还是很难抢ASML的市场,晶圆厂们,并不太愿意去用它。