新浪科普:"刷屏的国产光刻机报道背后的真相"
"二、真能应用到IC制造产线上吗?
在某些媒体的报道中,这个装备的出现,打破了国产光刻机的空白,可以打破XXX公司的垄断,但很遗憾,这是一个误解。行内人士告诉半导体行业观察记者,这个技术和我们熟悉的半导体集成电路完全无关,无法应用在集成电路领域。
再者,这一技术并非中国首创,国外有很多实验室也做出了成品验证机,效果还优于中科院,甚至都达不到国际领先的程度。"
http://tech.sina.com.cn/csj/2018-12-02/doc-ihpevhcm7347151.shtml