中国光刻机的真实现状。2026年最大进展，是28nm浸没式DUV光刻机批量交付，良率90%以上，国产化率90%以上。

https://zhuanlan.zhihu.com/p/2028184174327080121

所有跟帖： 

• 作为对照，阿斯麦在华销量下降23%。EUV光刻机只完成原型机组装和初步光刻试验。光源功率需从50W提升至250W以上。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:35:57

• 差距一，先进制程差距明显。EUV商业化仍需5年以上。差距三，专利与生态壁垒：国产光刻机无法进入全球供应链，芯片产品也不行 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:44:59

• 今年目标是12nm市场突破 -霸天虎- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:39:35

• 文章中提到，2025年3月，深圳新凯来宣布7nm DUV光刻机实现量产，依托四重曝光技术，覆盖5nm—28nm全制程。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:46:18

• 中芯国际依托国产DUV光刻机，通过多重曝光工艺，已实现7nm芯片稳定量产。这应该就是华为AI芯片和手机芯片的制造工艺。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:47:57

• 两年前美国科技网红就发现，华为AI芯片上，没有阿斯麦光刻机通用的对齐图案。现在看来，应该就是中国自产28纳米光刻机。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:49:49

• 问了ChatGPT‘中国能够生产5nm AI芯片吗？’。回答：能够！同问，DeepSeek也说能够。 -panlm_- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:03:51

• 一看就是不合逻辑的自媒体爽文。 -bustout- ♀ (829 bytes) () 05/17/2026 postreply 08:59:10

• 1.文内说的是晶圆流片良率。 2：批量交付本身就是进度点， 3：哪个国家是100%全自产？一边批老中太独一边说不够独 -dakinglaile- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:34:01

• 中国半导体产业如果跟光伏产业，电动车产业一样，做到了百分之百全部国产，网上对中国半导体的批评，只会更猛烈。 -thore- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:56:36

• 没错。100%国产化这种标准就是个莫名其妙标准，做不做得到都是个罪。 -dakinglaile- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 09:58:39

• 不自产，你卖呀？ -Simiguy- ♂ (0 bytes) () 05/17/2026 postreply 10:36:00