你不可能在ASML 工作。如果你对光刻机行业,那怕有点ABC了解,就知道,尼康和佳能已经彻底出局了

来源: michaelg 2016-12-27 11:44:57 [] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读: 0 次 (2192 bytes)

芯片光刻机进入EUV时代,ASML从此奠定垄断地位,佳能直接退出芯片光刻机领域了,仅保留低端半导体的i-line 和Kr-F 光刻机。尼康还在垂死挣扎。半导体先进制程垄断三巨头(台积电,三星,intel)就是ASML的股东,拥有ASML的EUV光刻机的优先供货权。

从其进入半导体行业起,尼康的芯片光刻机就在逐渐衰落,而荷兰ASML则一步步占据市场统治地位,尼康光刻机唯一剩下的优势就是同类机型价格不到ASML的一半。但英特尔在新制程中停止采购尼康的光刻机给了尼康致命一击。据了解,所有主流半导体产线中只有少数低阶老机龄的光刻机还是尼康或者佳能,其他基本都是ASML的天下。

Intel新CEO上台后,不再延续与尼康的620D合同,尼康推出了630D后,intel也无动于衷,尼康投标失败。尼康光刻机的小问题不少,trace 判定能力不行,经常出错。troubleshooting时非要有特定经验的人才能凭第六感觉判断问题。而且不能做到真正意义上的scan 和 etching 同步,这与ASML的dual scan 差太远,还有一系列小问题时而在不同的尼康机型上发生,操作系统上设计的架构有缺陷,这些虽然是原因之一,但都不是尼康的致命问题,

最致命的就是尼康620D在黄光之后做不下去。overlay实际效果和尼康官方的specification 差了一大截。这个是process engineer 们不能容忍的,先进制程本来就是烧钱的,成本不在边际考虑因素中,鉴于现状,technical support 团队是不能容忍采购团队为了省成本而去采购尼康光刻机。

在其工作的FAB,两台尼康620D都是这个情况,这还是他们尼康销售人员低价打进来的两台设备,晶圆厂自然不满意,也就没有再尝试买尼康的ArF 浸润光刻机,直到现在,高精度 etching 和scan 环节仍然都是ASML光刻机。而在低阶的KrF 光刻机上采购上偶尔会选择佳能,因为超级便宜,并且这个DRAM的第一步etching 环节根本没有太高技术要求。

所有跟帖: 

也许你说错了 -amigo- 给 amigo 发送悄悄话 amigo 的博客首页 (72 bytes) () 12/27/2016 postreply 13:02:35

建议你看看我们的老朋友Nikon熊谷(Kumagaya)制作所在做什么? -音犹在- 给 音犹在 发送悄悄话 (243 bytes) () 12/27/2016 postreply 14:01:39

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