搞个极紫外的光源有那么难吗？ 除非专利垄断

所有跟帖： 

• 不仅仅是极紫外的技术，还有其他方面的，中国又从来不注重基础科学的研究。 -playForever- ♂ (0 bytes) () 09/07/2023 postreply 18:25:01

• 应该是，配套的材料和其它技术都得到位 -五谷不分- ♂ (0 bytes) () 09/07/2023 postreply 18:48:48

• 极紫外光源哈工大已经搞出来了，估计在开始研究集成到光刻机上，有个3、5年应该差不多了，阿斯迈也着急啊 -Westmont- ♂ (0 bytes) () 09/07/2023 postreply 18:52:26

• 2017年中科院和2021年的五道口技工都宣布过解决了EUV光源的问题 -一年回国一次- ♂ (0 bytes) () 09/07/2023 postreply 23:06:20