极紫外光源哈工大已经搞出来了,估计在开始研究集成到光刻机上,有个3、5年应该差不多了,阿斯迈也着急啊
来源:
Westmont
于
2023-09-07 18:52:26
[
旧帖
] [
给我悄悄话
] 本文已被阅读:次